干式螺桿真空泵的五種分類
干式螺桿真空泵由泵體、泵蓋、圓盤、機械密封、葉輪、電動機等零部件組成。干式螺桿真空泵主要可以分為以下5類：
1、雙圓裂片式：
雙圓裂片式設(shè)計和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常類似。事實上，一些早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來的。這種多級設(shè)計使得氣體通路非常復(fù)雜，并且每一級都需要很大流量的氮氣才能起到稀釋和隔離作用。同時，為了可以實現(xiàn)更好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格要求。當然，干式螺桿真空泵這種設(shè)計正是因為增加了內(nèi)部壓縮比而使其耗電量相對比較低。
2、三葉圓裂片式：
三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理是相同的，它只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份，雙圓裂片式設(shè)計是分為兩份的。三葉圓裂片式設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計有著相同的優(yōu)缺點。為了進一步降低耗電量，有的廠家在傳動部分選用兩個直流馬達，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動能力下降。同雙圓裂片式設(shè)計相同，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要更大流量的氮氣才可以起到稀釋和隔離作用。
3、組合式（羅茨+爪）：
組合式（羅茨+爪）設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路和圓裂片式設(shè)計完全一樣。也有廠家將其后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就好比三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝當中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣才可以起到稀釋和隔離作用。
4、外部壓縮型螺桿式：
在外部壓縮型螺桿式的設(shè)計中，使用一對等距的螺桿。這使得內(nèi)部壓縮可以減到更小，同時使得氣體通路較短也更加簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留時間也是比較短的。雖然這種設(shè)計是因為減少了內(nèi)部壓縮比，而使得其耗電量相對比較高，但在很多復(fù)雜半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出非常高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量要求也非常小而且比較簡單的，這樣就使得其在不同工藝中有非常好的互換性。在很多工藝中甚至可以不需要氮氣。
5、內(nèi)部壓縮型螺桿式：
除了使用一對非等距螺桿以外，外部壓縮型螺桿式設(shè)計和內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常類似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵相同，更容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或者液化現(xiàn)象。
雖然干式螺桿真空泵的種類越來越多，但是通常的機械真空泵如爪式泵，其抽速難以做大，而且制造難度也大，成本高；另外還有利用多葉級數(shù)進行串連的羅茨泵，其缺點與爪式泵相仿。
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